日本東京大學與量子科學技術研究開發機構(National Institutes For Quantum And Radiological Science And Technology, QST)、宇都宮大學、產業技術總合研究所(AIST)等研究團隊將極紫外光做為近紅外波段的飛秒雷射光的高次諧波使其發光，並將極紫外光集光至繞射極限對試樣照射，以實現次微米(Submicrometer, Sub-μm)等級的微細加工。